Revestimiento antirreflejo de sustratos de vidrio óptico para sistemas de inspección

Revestimiento antirreflejo de sustratos de vidrio óptico para sistemas de inspección

El material:

• Substrato base: vidrio borosilicato de alta precisión (por ejemplo, Borofloat 33) o sílice fundido, seleccionado por su excepcional planitud, estabilidad térmica y resistencia química.

• Tecnología de recubrimiento: recubrimientos dieléctricos de múltiples capas (por ejemplo, MgF2, SiO2, Ta2O5) aplicados mediante pulverización de magnetrones de precisión o deposición de vapor.

• Tipos de diseño: personalizable como AR de banda ancha (espectro visible-NIR) o revestimiento en V (optimización de una sola longitud de onda).

Propiedades clave:

1. Reflectividad ultrabaja: logra < 0,5% de reflectividad superficial (frente al 4-8% para el vidrio sin recubrimiento), maximizando el rendimiento de la luz.

2. Alta eficiencia de transmisión: ofrece una transmisión de luz >99,5% en las longitudes de onda objetivo, minimizando la pérdida de señal.

3. Estabilidad angular: mantiene el rendimiento a través de ángulos de incidencia de 0-45 ° críticos para la imagen oblicuo.

4. Durabilidad ambiental: Resiste la delaminación, la humedad y la degradación UV bajo operación continua.

5. Calidad de la superficie: la rugosidad sub-Ångstrom (<5Å Ra) evita artefactos de dispersión de luz.

6. Resiliencia térmica y química: Resiste los disolventes de limpieza y el ciclo térmico (-60 °C a +300 °C).

Función primaria:

• Para eliminar los reflejos errantes y maximizar el contraste en sistemas de inspección óptica de alta precisión.

• Minimiza las imágenes de fantasmas y las llamaradas causadas por los reflejos de la superficie.

• Mejora la relación señal-ruido para una detección precisa de defectos.

• Preserva la intensidad de la luz a través de complejas vías ópticas.

Principales aplicaciones en los sistemas de inspección:

1. Metrología de semiconductores:

   • Escáneres de defectos de obleas

   • Óptica de inspección por litografía EUV

   • Sistemas de alineación de máscaras

2. Inspección óptica automatizada (AOI):

   • Verificación del ensamblaje de PCB

   • Detección de defectos en el panel de visualización (OLED/LCD)

3. Imágenes biomédicas:

   • Objetivos microscópicos para la patología

   • Lentes de citometría de flujo

4. Sistemas de visión industrial:

   • Sensores de triangulación por láser

   • Lentes de visión artificial para líneas de montaje

5. DNT en el sector aeroespacial:

   • Ventanas de sonda ultrasónica

   • Óptica por endoscopio para la inspección de turbinas

6. Pruebas de fotónica:

   • Placas de interferómetro óptico

   • Ventanas de espectrómetro

En esencia:Substratos de vidrio óptico con recubrimiento antirreflejoson componentes de ingeniería de precisión que resuelven problemas de precisión inducidos por la reflexión en los sistemas de inspección críticos.Aplicando recubrimientos dieléctricos avanzados de varias capas a sustratos de borosilicato ultraplato o sílice fundido, alcanzan un rendimiento de superficie casi invisible (< 0,5% de reflexión), lo que permite la detección de defectos a escala de micrones/submicrones.Estos sustratos mejoran directamente la fiabilidad de la metrología de semiconductores, equipo AOI, y herramientas de imágenes biomédicas donde cada fotón importa.